박상종 피에스케이 전무는 국내 반도체 공정 및 부품·장비 기술력을 한층 끌어올렸다는 평가로 국무총리표창을 수상했다. 박 전무는 플라즈마 소스·플랫폼 개발뿐 아니라 450㎜ 드라이 스트립 장비를 개발한 공로를 인정받았다. 스트립은 반도체 감광액을 세정하는 장비로 피에스케이가 세계 시장을 주도하고 있다. 박 전무는 해외 업체가 장악한 300㎜ 드라이 클린 장비 국산화에도 기여했다.

박 전무는 다수의 반도체 공정 장비 관련 특허 출원의 핵심 공로자다. 국내외 특허 110건을 확보 국내 반도체 장비업체 기술력 확보를 뒷받침했다.

권동준기자 djkwon@etnews.com